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UL-Coat-3 常压等离子设备

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UL-Coat-3 常压等离子设备

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简介:

AcXys常压等离子涂层设备能够在常压前提下实现SiOx/SiO2、Tio2等资料的涂层 ,涂层均匀性好且高效急剧。

规格参数:

根基参数

镀膜资料:SiO2/SiOx

镀膜厚度:50-1000nm

均匀性:+/-2%

处置温度:RT-200℃ ,取决于处置速度

处置速度:0-20m/min ,凭据现实利用调整

枪头

3个

电缆线

3m、5m、7m可选

发生器

尺寸:520mm×460mm×210mm ,沉量:20Kg

节造系统

PLC可实现下列职能:

Ø单一便捷的操作界面;

Ø凭据处置资料设定分歧的处置工艺参数 ,并且形成工艺菜单;

Ø设置进气停气 ,加电停电 ,输入电压等指标;

Ø监测所有的运行指标 ,保障各项参数在设定领域之内;

Ø设定操作进入密码。

电源供给

220-230V AC, 50/60Hz, 15A

工艺气体

压缩空气、氮气、其他混合气体 ,亏损量:150L/min

气体输入

一个气体输入端口 ,含气体流量节造器(MFC) ,输入压力:3Bar

尾气排放

150m3/min

安全机能

急�?�;接地�;�;CE安全认证

选件

定造OEM

重要利用

1 ,表表活化改性后进行等离子镀膜 ,膜粘接能力强;

2 ,支吃熹他镀膜钻研;

3 ,缺点建补等其他利用。

职能图解(没有的暂空着):

利用系统(没有的暂空着):

有关产品:

UL-Coat-1 ,UL-Coat-2

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